Phenom ProX 电镜能谱一体机同时具备样品表面微观形貌观测和表面元素成分点、线、面分析。电镜和能谱集成在一台设备中，可通过一个软件平台控制两项功能，并且具有15秒快速抽真空、不喷金观看绝缘体、2-3 年更换灯丝等特点。采用亮度 10 倍于钨灯丝的 CeB6 灯丝，Phenom ProX 电镜能谱一体机能达到全世界领先的扫描电镜分辨率，同时也使得表面元素分析更加准确快速。背散射电子图像用不同的灰度呈现出不同的元素，Phenom ProX 配备的 SDD X 射线探头，定性半定量探测5-95号元素的点、线、面分布。并且搭配纤维系统和颗粒系统，能对纤维直径和颗粒数目进行快速统计。